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探针轮廓仪（台阶仪）DEKATK150 集40多年的探针轮廓技术创新于一身，该系统在行业内的表现遥遥**，以重现性*佳和标准扫描范围*大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项，用于程序化测量、低探针力表征和细节分析台阶仪 Dektak 150 表面轮廓仪（探针式）规格：测试技术：探针轮廓技术测试功能：二维表面轮廓测试样品视场：640*480像素，USB；17 inc 平板显示器探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg 使用N-lite传感器：0.03至15 mg探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um; 高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平； 可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率； 可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程； 1um重现率，0.5 um 分辨率计算机系统： 主机使用celeron或者semprom处理器软件：Dektak软件 台阶检测软件 可选应力测量软件 可选三维Vision分析软件 可选缝合软件减震装置：可选桌式震动隔离装置 可选台式震动隔离装置性能扫描长度范围 55mm(2.1英寸)每次扫描数据点 *多12万数据点*大样品厚度 高达90 mm (4英寸)，取决于配置*大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)台阶高度重现性 6埃垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm垂直分辨率：*大1A（6.55um垂直范围下）尺寸：292 mm *508 mm*527 mm重量：34 kg电源要求：输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ